在潔凈室測試中，微小風(fēng)速和氣流測量很重要，對(duì)于諸多半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量把控更是有著不可替代的作用。依據(jù)不同的測試目的，相應(yīng)的風(fēng)速測試方法也存在差異。

市面上大多數(shù)風(fēng)速儀均為葉輪式風(fēng)速儀，此類儀器在測量潔凈室微小風(fēng)速方面存在短板，且難以實(shí)現(xiàn) 3D 氣流立體成像。鑒于此，科研人員精心研發(fā)出三維立體超聲波風(fēng)速計(jì)，它能夠精準(zhǔn)追蹤從微風(fēng) 0m/s 延伸至高風(fēng)速的整個(gè)過渡變化過程。

該設(shè)備的生產(chǎn)廠家運(yùn)用獨(dú)特的超聲波檢測方式，因此無需因溫度變化而對(duì)儀器進(jìn)行校正。除此之外，還可借助其檢測氣流的溫度狀況。無論是用于紊流室還是單向流潔凈室，這一風(fēng)速計(jì)均具備精密檢測各個(gè)斷面以及每個(gè)點(diǎn)位處微小氣流變化的能力。

同時(shí)，借助氣流監(jiān)控軟件，能夠從多點(diǎn)、多角度記錄室內(nèi)各點(diǎn)的平均風(fēng)速、標(biāo)準(zhǔn)偏差，并以畫面形式直觀顯示；還能通過三維畫面呈現(xiàn)風(fēng)向的大小矢量圖，為使用者提供室內(nèi)仿真效果圖，以便更清晰地了解潔凈室內(nèi)的氣流情況。

FT-SWF2 三維超聲波風(fēng)速儀是一款高性能風(fēng)速儀。其采用不銹鋼外殼，耐腐蝕，可在惡劣環(huán)境下工作。

它利用超聲波測量氣體流速，通過測量超聲波在氣體介質(zhì)中的傳播速度差來計(jì)算風(fēng)速，具有非接觸、高精度、實(shí)時(shí)性強(qiáng)等特點(diǎn)。風(fēng)速測量范圍 0-70m/s，精度 ±3%，分辨率 0.1m/s；風(fēng)向測量范圍 0-360°，精度 ±2°，分辨率 0.1°。

該儀器無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，不易損壞，維護(hù)成本低。采用微處理器和高精度的傳感器，保證了測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。其體積小、重量輕、安裝方便，可廣泛應(yīng)用于氣象、環(huán)保、能源等領(lǐng)域，為風(fēng)速風(fēng)向的測量提供有力支持。

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